オープンクリーンシステムKOACH基本概念解説
アクチュアルクリーンとは
「アクチュアルクリーン」とは、作業者がクリーンシステムを使用して作業している最中の清浄度を指します。反対に、クリーンゾーン内部に人や装置がなく、使用していない状態の清浄度を「ノミナルクリーン」と呼びます。
クリーンシステムを管理する上で、ノミナルクリーンばかりに目を奪われていると、実際の作業ではコンタミナントが排出できておらず、高いアクチュアルクリーンを維持できないことがあります。高いノミナルクリーンを形成できるシステムはもちろん重要ですが、本来クリーンシステムを用いて防ぎたいコンタミネーションは実際の作業中に発生します。
クリーンシステムを導入する際は、作業によって発生したゴミやホコリ（コンタミナント）を素早く排出できる構造を持つものを選ぶなど、ノミナルクリーンだけでなくアクチュアルクリーンを高く維持すること念頭に置いたクリーンルーム・クリーンベンチ選びが重要です。
クリーンシステムを管理する上で、ノミナルクリーンばかりに目を奪われていると、実際の作業ではコンタミナントが排出できておらず、高いアクチュアルクリーンを維持できないことがあります。高いノミナルクリーンを形成できるシステムはもちろん重要ですが、本来クリーンシステムを用いて防ぎたいコンタミネーションは実際の作業中に発生します。
クリーンシステムを導入する際は、作業によって発生したゴミやホコリ（コンタミナント）を素早く排出できる構造を持つものを選ぶなど、ノミナルクリーンだけでなくアクチュアルクリーンを高く維持すること念頭に置いたクリーンルーム・クリーンベンチ選びが重要です。
清浄度クラス ISO規格(ISO14644-1)
ISO | クラス上限値(個/㎥) | 米国連邦 規格 FED-STD- 209D | JIS対象 粒径 範囲(㎛) | |||||
0.1㎛ | 0.2㎛ | 0.3㎛ | 0.5㎛ | 1㎛ | 5㎛ | |||
クラス1 | 10 | 削除(2) | ー | ー | ー | ー | ー | 0.1～ 0.3 |
クラス2 | 100 | 24 | 10 | 削除(4) | ー | ー | ー | 0.1～ 0.3 |
クラス3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 削除(8) | ー | クラス1 | 0.1～ 0.5 |
クラス4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | ー | クラス100 | 0.1～ 0.5 |
クラス5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 削除(29) | クラス100 | 0.1～ 5 |
クラス6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 | クラス1,000 | 0.3～ 5 |
クラス7 | ー | ー | ー | 352,000 | 83,200 | 2,930 | クラス10,000 | 0.3～ 5 |
クラス8 | ー | ー | ー | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 | クラス100,000 | 0.3～ 5 |
クラス9 | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 | クラス1,000,000 | ||||
削除と朱記部分は、2015年のISO規格改訂の際に削除となりました。 | ||||||||
